Оттегі анализаторы OX400 оттегі концентрациясын бақылау үшін қолданылады: диффузиялық және кептіргіш пештерде, соның ішінде СКД өндірісінде, толқынды дәнекерлеу және қайта ағынды дәнекерлеу арқылы ПХД өндірісінде, ұнтақ жүктерді тасымалдау кезінде шаңның жарылуын болдырмау үшін.
Бұл аспап Yokogawa компаниясының қатарындағы оттегі анализаторларының соңғы буынын білдіреді. Оның конструкциясы компанияның көп жылдық тәжірибесіне және анализатор конструкциясының негізінде жатқан талдау әдісін жетілдіруге негізделген. Цирконийді өлшейтін ұяшықта цирконий диоксиді мен электродтың платина қабаты арасында молекулалық байланыс жасайтын жаңа патенттелген жұқа қабықшаны тұндыру технологиясы қолданылады. Бұл қолдану әдісі механикалық беріктігін арттырды, сенсордың өлшемін кішірейтеді және жоғары жауап беру жылдамдығын және ұзақ қызмет ету мерзімін қамтамасыз етеді.
OX400 жартылай өткізгіштер өндірісіндегі оттегінің мөлшерін, қоршаған ортаның сапасын бақылауды, инертті газ ортасында ауаның ағып кетуін және т.б. бақылау үшін пайдаланылуы мүмкін.
Негізгі қолданулар:
- Жартылай өткізгіш диффузиялық және кептіру пештеріндегі және сұйық кристалды дисплейлерді өндіру процестеріндегі оттегі концентрациясын бақылау.
- Электрондық платаларды дәнекерлеу толқынымен дәнекерлеуге арналған пештердегі оттегінің мөлшерін бақылау; өндіріс процестеріндегі оттегінің концентрациясын бақылау.
- Шаңның жарылуын болдырмау үшін ұнтақты тасымалдау кезінде оттегінің концентрациясын бақылау.
Сипаттамалары:
| Жалпы сипаттамалар | Өлшенетін орта | О2 түтін газдарында және газдар қоспаларында (тұтанғыштардан басқа) |
| Өлшем шектері | 0...10 бет/мин бастап | |
| О2 көлемінің 0...100% бастап | ||
| Өлшем диапазондары | 0-ден 10/100/1000 промиллеге дейін | |
| О2 көлемінің 0-ден 1/10/100%-на дейін | ||
| Қайталану мүмкіндігі | ағымдағы диапазонның 1% | |
| Рұқсат | 0,01 ppm | |
| Қыздыру уақыты | 20 минут | |
| Жауап беру уақыты | 10 секунд ішінде пікірдің 90% үшін | |
| диапазон 0-1% | ||
| Үшін 30 секунд ішінде жауаптың 90% | ||
| диапазон 0-1-ден аз% | ||
| Өлшенетін ортаның параметрлері | Температура | 0…50 °C |
| Қысым | <300 Па | |
| Қоршаған орта | Температура | 0…40 °C |
| Ылғалдылық | 5-тен 85-ке дейін% | |
| Шығулар | Аналогты | 2 × 4...20 мА (макс. қыздыру. 550 Ом) |
| Дискретті | 3 × релелік | |
| Өлшемдері мен салмағы | Салмақ | 5 келі |
| Габариттік өлшемдер | 213 ×132×375 мм | |
| Тамақтандыру | 200-240В ± 10% 50 Гц |
| Негізгі | |
|---|---|
| Өндіруші | Yokogawa |
| Өндіруші ел | Жапония |
- Бағасы: Бағасын нақтылаңыз


